20世紀40年代，當時的科學家發現了BaTiO3陶瓷材料（制備容易，可制成任意形狀、任意極化方向的元件），這一發現極大促進了壓電驅動技術的發展。1948年，Williams和Brown聯合申請了個“壓電馬達”專利。

 
1961年，日本的Bulova公司利用音叉的往復位移運動驅動鐘表的齒輪，誤差只有一分鐘，創造了當時記錄。約10年后，Siemens和Matsushita公司聯合開發了一種直線作動器，由于振幅小，無法獲得大的轉矩和轉速。1965年，蘇聯的Lavrinenko提出一種超聲電機并申請了發明專利，其原理是利用壓電板的振動來驅動轉子。
 
歸納出超聲電機結構簡單、成本低、低速大扭矩、單位體積能量密度大、能量轉換效率高、運動等特性。1973年，IBM公司的Barth提出了具有現代超聲電機原理的結構方案，他是利用壓電元件使牛角楔形的振子產生振動，通過楔形端面與轉子表面接觸，靠摩擦作用驅動轉子轉動。1975年，Vishnevsky等也提出了類似的超聲電機結構方案。http://www.mmsdh.cn