1981 年，立陶宛人Va s ilie v成功構造了一種可以驅動較大負載的超聲電機，這種電機由Langevin振子組成的換能器作為定子，激發(fā)振動片的縱向振動，通過與轉子間的摩擦來驅動轉子轉動。該結構不盡降低了電機工作頻率，且能放大振幅，被用來驅動唱片機轉盤的轉動，成為當時被應用于實際的作動器。
 
1982年，日本的Sashida在Va s iliev的基礎上，提出并制造了駐波型超聲電機，這種電機的性能次滿足了實際使用需要，但也存在著問題，接觸表面上存在嚴重磨損。為解決這個問題，在1983年Sashida又提出并制造了另一臺行波型超聲電機。這種超聲電機大大降低了定、轉子接觸面上的磨損，它的研制成功為超聲電機走向應用開辟了道路。

 
1985年，日本的Kumada研制了臺單相驅動具有耦合器的縱扭復合型超聲電機。1987年，松下公司的Ishe等在此基礎上提出了環(huán)形行波超聲電機，該電機大幅提升了工作效率。同年，Sashida創(chuàng)立了Shinsei公司，致力于將超聲電機產(chǎn)業(yè)化、商品化；Canon公司在其產(chǎn)品EOS相機的鏡頭自動對焦系統(tǒng)中植入了自行研制的環(huán)形行波超聲電機，這些都標志著超聲電機從研究階段進入到實用階段。
 
自超聲電機被產(chǎn)品化后，對于這種嶄新理念的微特電機人們投入了大量研發(fā)熱情，大量基于不同原理和結構形式的超聲電機隨之產(chǎn)生。我國針對超聲電機的研究工作開展于20世紀90年代，清華大學、浙江大學、吉林大學、南京航空航天大學、哈爾濱工業(yè)大學等先后開展了超聲電機的研究，并取得了喜人的成果。http://www.mmsdh.cn